北京同林科技有限公司 · 自研 NDUV 紫外臭氧检测仪
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3S-J5000

3S-J5000 紫外臭氧在线检测仪

3S-J5000 采用双光路紫外吸收法(NDUV),量程 0-200 mg/L(可定制 0-50 / 0-100 / 0-300 / 0-500 mg/L),分辨率 0.01 mg/L,精度 0.3%FS,支持带气自动校零,7 寸触摸屏,可接质量流量计直读臭氧产量,配套软著上位机软件。

气相臭氧(气体中臭氧浓度) 量程 0-200 mg/L(标准量程;可定制 0-50 / 0-100 / 0-300 / 0-500 mg/L 等) 分辨率 0.01 mg/L 双光路紫外吸收法(NDUV),254nm
3S-J5000 紫外臭氧在线检测仪|3S-J5000 产品实拍
SPECIFICATION

技术参数

以下为标准配置口径。量程、取样方式与进出气接口均可按工况定制。

产品型号3S-J5000
测量对象气相臭氧(气体中臭氧浓度)
检测原理双光路紫外吸收法(NDUV),254nm
标准量程0-200 mg/L(标准量程;可定制 0-50 / 0-100 / 0-300 / 0-500 mg/L 等)
分辨率0.01 mg/L
精度与线性精度 0.3%FS;线性误差 0.2%FS;零点漂移 ±0.3%FS 以内
响应时间秒级响应
光源 / 传感器寿命紫外光源 5-7 万小时,无耗材
取样方式与接口正压取样,取样流量 0.1-1 L/min,输入压力 0.1 MPa 以内;标准 Φ6(6×4mm)快拧接口,可选 Φ8;半导体与 UHP 工况可定制 1/4″ 卡套接头或 1/4″ VCR 金属面密封接头
输出信号RS-485(MODBUS RTU)+ 4-20mA 模拟量;可接质量流量计直接读出臭氧产量
电源与功耗AC 220V 50Hz
尺寸与重量355×295×175 mm,6.5±0.5 kg
工作环境温度 -10 ~ 40 ℃;建议室内通风干燥环境
防护与防爆环境含氨气、氯化氢、硫化氢等腐蚀性气体时需做仪表隔离或防护
显示与操作7 寸触摸屏
配套软件配套上位机软件(已取得软件著作权):实时浓度与趋势曲线、历史数据查询、曲线与数据导出 Excel/CSV
ADVANTAGES

3S-J5000 的核心优势

  • 双光路 NDUV 差分测量——测量光路穿光池、参考光路直通,光源老化同时作用于两条光路,差分后自动抵消,不会把光源衰减误判成浓度变化。
  • 可带气自动校零——在持续通臭氧的状态下完成校零,不用断开进气,避免停机与二次污染。
  • 0.3% FS 精度、0.2% FS 线性误差——mg/L 级高浓度段仍然保持窄线性误差,不是"高量程就放宽精度"。
  • 紫外光源 5-7 万小时——无耗材、无传感头更换,连续在线 7×24 小时的长期成本远低于电化学方案。
  • 可接质量流量计直读臭氧产量——浓度 × 流量直接得到臭氧产量(g/h),发生器厂家与工程验收会用到。
  • 半导体 UHP 接口定制——1/4″ 卡套或 1/4″ VCR 金属面密封接头,不含弹性体密封件,无橡胶析出、无颗粒脱落。
  • 7 寸触摸屏 + 数据留痕——现场可读、可存、可导出,软著上位机软件负责曲线与历史记录。
CUTAWAY VIEW

结构剖面图

把仪器拆开看:哪些部件决定了精度,哪些设计决定了长期稳定性。

A-A 剖面 · 双光路 NDUV 光路走向 紫外光源 254nm 5-7万h 分光组件 beam splitter 测量光路 参考光路 光池 / 气室 光池 · O₃ 吸收 测量探测器 参考探测器 差分 臭氧进气 / 出气(正压取样 0.1-1 L/min) 双光路的作用:光源自身老化同时作用于两条光路,差分后自动抵消 —— 单光路会把光源衰减误判成浓度变化
APPLICATION

典型应用场景

  • 半导体工艺气体与超纯水系统的臭氧浓度监测
  • 臭氧发生器出口浓度与臭氧产量测量
  • 水厂臭氧投加前的浓度检测
  • 工业管道臭氧浓度在线连续监测
  • 臭氧尾气浓度监测
  • 制药纯化水管路臭氧消毒浓度验证

为什么是双光路,而不是单光路

紫外吸收法测臭氧,原理本身没有争议:臭氧在 254nm 有强吸收,测吸光度就能反推浓度。真正的难点在光源身上——紫外灯管会随着使用时间缓慢衰减,而衰减会被单光路仪器"看见"并当成浓度变化。

3S-J5000 的做法是分光后走两条路:一条穿过光池(测量光路),一条直接进探测器(参考光路)。两条路吃的是同一只灯管的光,灯管老化对它们的影响完全一致,做差分时被自动扣掉。所以仪器长期在线不需要频繁校零,读数也不会缓慢"自己漂走"。

带气自动校零解决的是什么问题

传统校零要断开臭氧进气、通入无臭氧的零气。对于连续运行的产线,这意味着停机;对于管道系统,意味着要拆接头、可能引入污染。

3S-J5000 支持在持续通臭氧的状态下完成自动校零。它依赖的正是双光路的参考通道——参考光路本身就是一路"不接触臭氧"的对照,零点基准可以随时重建。这一点在发生器产线验收和连续监测场景里,直接省掉了停机时间。

半导体工况的接口定制

半导体与超高纯(UHP)客户关心的从来不是接头尺寸,而是污染源。标准配置为 Φ6(6×4mm)快拧接口;如果管路是 UHP 系统,可定制 1/4″ 卡套接头或 1/4″ VCR 金属面密封接头。

VCR 采用金属垫片面密封结构,不含弹性体密封件——没有橡胶析出风险,也没有颗粒脱落风险。这是它被 UHP 管路普遍采用的原因。

安装与使用要点

  • 正压取样,取样流量 0.1-1 L/min,输入压力控制在 0.1 MPa 以内。
  • 测量较高压力的臭氧时应并联测量,使测量出口端排空。
  • 建议室内安装,环境保持通风干燥且无其它腐蚀性气体。
  • 首次使用建议预热 5 分钟后再进行校零。
  • 环境若存在氨气、氯化氢、硫化氢等气体,应做好仪表隔离或防护,避免腐蚀电路板与触摸屏。

常见问题

0-200 mg/L 这个量程适合什么场合?

适合高浓度臭氧的测点:发生器出口、工业管道、投加前主流路。如果测的是环境空气或低浓度工艺环节,吸光度太小,应该选 ppm 量程的 3S-J9000。

量程可按现场实际浓度调整:标准量程 0-200 mg/L;若测点常年在更低区间,可定制 0-50 / 0-100 / 0-300 / 0-500 mg/L 等量程段,让仪器精度匹配真实读数,而不是为「保险」选过大量程。

检测数据怎么保存和导出?

仪器本体支持存储,也可通过 RS-485 连接配套上位机软件,实时显示浓度曲线、记录数据并导出 Excel 或 CSV。该控制系统已取得软件著作权。

能直接进 PLC 做闭环控制吗?

可以。仪器提供 RS-485(MODBUS RTU)与 4-20mA 双通道输出,可直接接入 PLC、DCS 或中控系统。需要说明的是:仪器负责测量与记录,投加控制与安全联锁应由 PLC/DCS 承担。

光源需要定期更换吗?

紫外光源寿命约 5-7 万小时,按 7×24 连续运行折算可用数年,且不是电化学传感头那样的耗材。这也是长期在线场景里紫外法总成本更低的直接原因。