北京同林科技有限公司 · 自研 NDUV 紫外臭氧检测仪
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TECHNICAL NOTES

技术文章

围绕臭氧浓度检测的技术笔记:紫外吸收法与电化学法的原理差异、选型方法、半导体与水处理现场经验、标准合规要点与使用维护清单。

检测原理选型方法现场经验标准与合规
ALD/PLD 工艺中的臭氧浓度稳定性
应用实践 2026-11-05

ALD/PLD 工艺中的臭氧浓度稳定性

ALD/PLD 工艺里的臭氧浓度为什么会漂:发生器工作点、氧源露点、管路自分解与管壁催化分解各自的作用,沿程损失随停留时间累积,源端稳定为什么不等于腔体前剂量稳...

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